、keysight b1500a 半导体器件分析仪是一款真正意义上的参数分析仪
· keysight b1500a 半导体器件分析仪(半导体参数分析仪/半导体表征系统)是器件表征的综合解决方案。
· 支持基本的电流-电压(iv)和电容-电压(cv)测量以及业界的快速脉冲 iv/ 快速 iv / 瞬时 iv 测量,具备极高的测量可靠性
· 嵌入式 windows 7 和功能强大的 easyexpert 软件借助的图形用户界面(gui),可让您执行高效、深入、数据可恢复的器件表征。
· 这款佳表征解决方案可对器件、材料、半导体、有源/无源元件以及任意电气器件进行各种电气表征和评测。
· 根据您的测试需求,模块化结构可升级至 10 插槽配置。
的测量能力和极高的测量可靠性 keysight b1500a 针对基础和器件表征提供以下功能。
测量功能
主要技术指标/特性
测量模块
电流/电压(iv)测量
· 电源和测量范围高达 200 v/1 a
· 极低测量分辨率为 0.1 fa / 0.5 µv
· 针对基础和 iv 测量提供点测量、扫描测量等功能
b1511b /b1511b /b1511b smu(电源/测量单元)
准静态cv(qs-cv)
· 精确的准静态电容-电压(qs-cv)测量,具有泄露电流补偿
采样测量
· 采样(时域)测量间隔为 100 µs
b1510a/b1511a/b1517a smu(电源/测量单元)
脉冲测量
低至500 µs
· 在 500 µs 脉宽、2 μs 分辨率的条件下执行脉冲测量
低至100
· 适用于脉冲 iv 和瞬时 iv 的超快速 iv 测量功能,例如nbti/pbti、rtn(随机电报信号噪声)等
· 脉冲测量,脉宽为 50 μs
· 电源和测量范围高达 30 v / 1 a(0.1 a 直流)
· 支持示波器视图
· 利用 10 编程分辨率生成波形
· 同时执行高速 iv 测量(200 msa,采样率为 5 )
· 10v 峰峰值输出
· 利用动态 smu 技术,负载线不会影响脉冲 iv 测量的精度
b1514a 50 µs 脉冲 mcsmu (中等电流电源/测量单元)
低至10
· 适用于 高 koi 脉冲 iv 的表征解决方案
· 选通脉冲宽度是 10 至 1 µs,上升和下降时间小值为 2
b1542a 10 脉冲 iv 参数测试解决方案
脉冲生成
· 高压输出可达 ±40 v,适用于非易失存储器测试
· 为单通道提供二电平和三电平脉冲
· 利用 10 分辨率灵活地生成任意波形(任意线性波形生成功能)
· 每个模块具有两个通道
b1525a hv-spgu(高电压半导体脉冲发生器单元)
交流阻抗(cv)测量
· 交流阻抗测量(c-v、c-f、c-t)
· 频率范围 1 khz 至 5 mhz
· smu 提供 25 v 内置直流偏置和 100 v 直流偏置
· scuu 能够快捷、精确地改变 iv 和 cv 自动连接
b1520a mfcmu(多频率电容测量单元)
在研发的各个阶段中(从探测到自动化)实现高效、数据可恢复的器件表征 - easyexpert 软件在嵌入式 windows 7 中运行 - 数百种测量程序库在需要时即可使用(应用测试) -15 英寸触摸屏支持您在器件表征时采取直观的操作、分析与探测 - 自动数据记录特性支持测试数据和测试条件的恢复,可使您轻松地进行探测 - 利用曲线追踪(旋钮操作)和自动记录特性来实现实时交互表征
-easyexpert 的曲线追踪仪测试模式通过旋钮来控制可变扫描,与传统的曲线追踪仪类似 -示波器视图能够显示施加到器件中的电压和电流波形,从而帮助用户优化测试条件、观察器件的瞬时现象 - 利用便捷的在线/离线测试环境完成测试开发与分析,从而极大限度地发挥仪器效用